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电子特气为半导体制造关键材料,被称为“芯片血液” 工业气体可分为大宗气体和特种气体 工业气体广泛应用于现代工业的各个领域,根据其纯度和用量大小可以分为大宗气体和特种气体两类。大宗气体指大批量用于 工业生产制造,纯度小于等于99.99%(4N)的气体;根据制备方式的不同可分为空分气体和合成气体。特种气体是指那些在特 定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气,高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气,特种气体可分为标准气体、 高纯气体(电子大宗气体)和电子特气。 大宗气体对纯度要求较低,可分为空
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